本报讯 （记者 陈曙光） 2月28日，记者从市科技局获悉，由科技部主办的2022年全国颠覆性技术创新大赛总决赛日前在杭州落幕，位于经开区的河南科之诚第三代半导体碳基芯片有限公司研发的“2Ghz-10GHz金刚石基高频射频滤波器”获得大赛最高奖——优胜奖，并被推荐进入科技部颠覆性技术备选库。

2017年7月，河南科之诚第三代半导体碳基芯片有限公司在新乡经开区智能制造产业园注册成立，是第三代半导体产业创新联盟在河南的唯一会员企业，公司产品为集成电路芯片，主要应用于无线通信、5G互联网、自动驾驶等行业。同时，公司核心团队由多名博士组成，并与清华大学、北京航空航天大学、中国科学院、北京有色金属研究总院等国内知名高校科研院所及公司保持着密切的技术合作关系。

据介绍，该公司此次参赛的项目，采用金刚石和氮化铝这两种第三代半导体材料，成功开发出了金刚石基的射频滤波器，在实现高频滤波器国产替代进口的同时，还解决了高成本难题，将一块芯片以前高达1500元的金刚石使用成本降到了现在的0.1元。同时，还攻克了多项世界级技术难题，创新性提出了螺旋形IDT电路设计，推出了高频金刚石射频滤波器产品，整体技术达到国际领先水平。

目前，该项目已申请了9项专利、其中发明专利5项，并掌握了2-6英寸硅基金刚石薄膜制备工艺、2-6英寸取向压电薄膜制备工艺和金刚石基射频滤波器芯片的设计、半导体工艺、封装、检测技术，并已经完成全工艺流片验证，这标志着核心技术攻关已经完成。公司近期正在融资推进项目产业化，一期计划建设一条6英寸金刚石CVD+氮化铝PVD晶圆制造生产线，实现金刚石基高频滤波器大规模量产，预计一年出产品。